Proyek & Sistem Lini Produksi Pasir Silika Kemurnian Tinggi Kelas Elektronik
Gambaran Umum Sistem
Sistem ini adalah solusi lengkap yang dirancang untuk produksi pasir silika kemurnian tinggi kelas elektronik, yang mengkhususkan diri dalam produksi pasir silika kemurnian tinggi kelas elektronik dengan kemurnian 5N-6N (99,999% - 99,9999%) dan kandungan pengotor logam utama kurang dari 1 ppm melalui proses lanjutan seperti penghancuran presisi, aktivasi termal, pemurnian kimiawi yang mendalam, perawatan klorinasi suhu tinggi, dan penilaian ultra-halus. Produk ini terutama digunakan dalam wadah kuarsa semikonduktor, pembawa wafer, substrat photomask, dan bidang manufaktur elektronik kelas atas lainnya.
Alur proses terperinci dari seluruh lini
Sistem Pra-perawatan Presisi Bahan Baku
Bijih kuarsit bermutu tinggi yang dipilih disortir dua kali dengan penyortir warna dan penyortir sinar-X untuk secara efektif menghilangkan butiran yang mengandung pengotor; penghancur rahang liner keramik dan penghancur kerucut digunakan untuk penghancuran multi-tahap untuk memproses bahan mentah menjadi ukuran partikel kurang dari 5mm, menghindari kontaminasi logam di seluruh proses, dan meletakkan fondasi untuk pemurnian mendalam berikutnya.
Aktivasi termal dan sistem pengoptimalan kisi
Material yang dihancurkan diberi perlakuan panas dalam tanur listrik bersuhu tinggi 1250°C untuk menginduksi jaringan retakan mikro di dalam mineral melalui proses pendinginan yang dikontrol secara tepat; proses ini secara efektif membuka saluran kisi, secara signifikan meningkatkan efisiensi reaksi selanjutnya antara reagen kimia dan komponen pengotor, dan mengekspos inklusi hingga ke tingkat pengotor sepenuhnya.
Sistem Penghapusan Pengotor Dalam Multi-mode
-
Pemisahan electrowinning tegangan tinggi: dilengkapi dengan mesin electrowinning tegangan tinggi 40kV, berdasarkan perbedaan konduktivitas listrik mineral untuk mencapai pemisahan yang akurat.
-
Pemisahan dan pemurnian magnetik superkonduktor: Sistem pemisahan magnetik superkonduktor 6T diadopsi untuk menghilangkan pengotor paramagnetik seperti besi, kobalt, dan nikel secara mendalam.
-
Pemurnian flotasi: menggunakan surfaktan yang disesuaikan dalam media asam untuk memisahkan feldspar, mika, dan mineral aluminosilikat lainnya secara efisien.
Sistem Pemurnian Kimia Dalam
Bahan-bahan tersebut dilindi secara mendalam dalam reaktor berlapis Teflon selama 72 jam pada suhu 90°C dengan asam campuran dengan kemurnian tinggi untuk melarutkan kotoran logam dalam inklusi permukaan dan saluran kisi secara menyeluruh; air ultra-murni 18 megohm digunakan untuk lima belas tahap pembilasan berlawanan arah guna memastikan bahwa sisa ion radikal asam kurang dari 0,05 ppm.
Proses pemurnian klorinasi suhu tinggi
Melewatkan klorin kelas elektronik di bawah lingkungan nitrogen dengan kemurnian tinggi 1300 ° C untuk membuat logam alkali, logam transisi, dan pengotor membandel lainnya menghasilkan penguapan dan penghilangan klorida gas, tingkat penghilangan uranium, thorium, dan elemen radioaktif lainnya dapat mencapai lebih dari 99,95%, dan kandungan pengotor logam utama dikontrol secara stabil pada 0,1-0,5 ppm.
Penilaian yang sangat halus dan pemrosesan produk jadi
Kontrol ukuran partikel yang tepat dari 1-20μm dicapai dengan pengklasifikasi udara turbin multi-tahap, dilengkapi dengan pengukur partikel laser online untuk pemantauan waktu nyata dari distribusi ukuran partikel; produk jadi dikemas dengan nitrogen dalam lingkungan bersih kelas 100 untuk memastikan bahwa produk mempertahankan kemurnian sangat tinggi selama penyimpanan dan transportasi.
Keunggulan Inti Sistem
Sistem jaminan kemurnian tertinggi
Mengintegrasikan tiga teknologi inti aktivasi termal, pemurnian kimiawi yang mendalam, dan klorinasi suhu tinggi untuk membangun rantai pemurnian yang lengkap, memastikan kemurnian produk mencapai standar 5N-6N secara stabil dan kandungan pengotor logam utama dikontrol dalam kisaran 0,1-1 ppm.
Teknologi kontrol ukuran partikel yang tepat
Mengadopsi proses klasifikasi multi-tahap yang menggabungkan klasifikasi aliran udara dan klasifikasi sentrifugal, konsentrasi distribusi ukuran partikel produk D90 / D10≤1.5, untuk memenuhi persyaratan ekstrem untuk konsistensi bubuk di bidang bahan elektronik.
Produksi yang bersih di seluruh proses
Proses inti diselesaikan di lingkungan bersih kelas 100, dan peralatannya terbuat dari kuarsa dengan kemurnian tinggi, PTFE, dan bahan lembam lainnya, yang sepenuhnya menghilangkan risiko polusi sekunder dalam proses produksi.
Ketertelusuran kualitas yang cerdas
Memperkenalkan sistem eksekusi produksi MES untuk menerapkan ketertelusuran penuh batch bahan baku, parameter proses, data kualitas, dan membuat file kualitas yang sempurna untuk memastikan bahwa setiap batch produk dapat ditelusuri kembali ke data produksi asli.
Konfigurasi Proyek
Perencanaan area produksi yang bersih
Area pra-perawatan bahan baku mengadopsi standar bersih kelas 10.000, pemurnian bahan kimia dan area pemrosesan produk jadi menjalankan spesifikasi bersih kelas 100, dan setiap area dikontrol oleh kamar mandi udara dan jendela transfer material untuk mencapai penilaian kebersihan.
Program konfigurasi peralatan profesional
-
Bagian penghancuran: dilengkapi dengan peralatan penghancur liner keramik zirkonia, sepenuhnya menghindari polusi logam.
-
Perlakuan suhu tinggi: mengadopsi tungku listrik batang karbon silikon, dengan akurasi kontrol suhu ± 1 ° C.
-
Sistem klasifikasi: Dilengkapi dengan pengklasifikasi turbin presisi tinggi, efisiensi klasifikasi ≥90%.
-
Pusat pengujian: dilengkapi dengan instrumen analitik presisi tinggi seperti ICP-MS, GD-MS, dll.
Sistem perlindungan dan keselamatan lingkungan
Gas limbah asam dibuang setelah pengolahan penyerapan tiga tahap untuk memenuhi standar, dan gas buangan klorinasi diolah secara tidak berbahaya melalui sistem pengolahan khusus; perangkat pengolahan darurat kimia disiapkan untuk menjamin keamanan produksi secara komprehensif.
Melalui kombinasi sempurna antara proses pemurnian ekstrem dan sistem produksi bersih, program ini menyediakan produk pasir silika dengan kemurnian tinggi dengan kualitas stabil dan kinerja yang sangat baik bagi industri elektronik, serta membantu pengembangan semikonduktor, sirkuit terpadu, dan industri strategis lainnya yang sedang berkembang.
